고온·고압의 수소 분위기에서 반도체 웨이퍼 표면을 정밀하게 가공해 결함을 줄이고, 표면 평탄화를 실현하는 첨단 공정 진행과정 중 수소치환 과정에 AI를 적용할 방안(가능성)을 심층 분석해

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